Классификация цифровых систем неразрушающего рентгеновского контроля изделий микроэлектроники
Ключевые слова:
неразрушающий рентгеновский контроль, автоматизация, рентгеновское изображение, классификацияАннотация
Интенсивное развитие цифровых систем неразрушающего рентгеновского контроля открывает возможности по автоматизации этого процесса для разрабатываемых и производимых изделий микроэлектроники с неоднородной структурой. В работе предложена классификация цифровых систем неразрушающего рентгеновского контроля по следующим критериям: способ формирования рентгеновского изображения, тип детектора, способ считывания рентгеновского изображения с детектора. Проведен анализ цифровых систем неразрушающего рентгеновского контроля изделий микроэлектроники и определены системы, наиболее восприимчивые к автоматизации.
Литература
1. Гафт С. Рентгеновский контроль – мощное средство для диагностики и локализации дефектов современных печатных узлов // Компоненты и технологии. 2004. № 7. С.182–183.
2. Бернард Д. Критерии выбора рентгеновской трубки // Технологии в электронной промышленности. 2010. № 4. С.38–43.
3. Шмаков М. Выбор системы рентгеновского контроля. Взгляд технолога // Технологии в электронной промышленности. 2006. № 4. С.60–68.
4. Бернард Д., Брайнт К. Использование последних технологических достижений для рентгеновского контроля электронных изделий // Технологии в электронной промышленности. 2012. № 2. С.16–21.
5. Мазуров А.И. Последние достижения в цифровой рентгенотехнике // Медицинская техника. 2010. № 5(263). С.10–14.
6. Белова И.Б., Китаев В.М. Цифровые технологии получения рентгеновского изображения: принцип формирования и типы (обзор литературы) // Медицинская визуализация. 2000. № 1. С.33–40.
7. Лебедев М.Б., Сидуленко О.А., Удод В.А. Анализ современного состояния и развития систем цифровой рентгенографии // Известия Томского политехнического университета. 2008. Т.312. № 2. С.47–55.
8. Майоров А.А. Цифровые технологии в радиационном контроле // В мире неразрушающего контроля. 2009. № 3(45). С.5–12.
9. Багаев К.А. Цифровая радиография, обзор технологий и зарубежных стандартов // Экспозиция. Нефть. Газ. 2012. № 7. С.11–13.
10. Клюев В.В., Соснин Ф.Р. Современные средства и методы цифровой радиационной дефектоскопии // В мире неразрушающего контроля. 2002. № 4(18). С.52–56.
11. Неразрушающий контроль: Справочник: В 8 т. / Под общ. ред. В.В. Клюева. Т. 1: В 2 кн. Кн. 1. Ф.Р. Соснин. Визуальный и измерительный контроль. Кн. 2. Ф.Р. Соснин. Радиационный контроль. – 2-е изд., испр. // М.: Машиностроение. 2008. 560 с.
12. Борисов А.А. и др. О двух технологиях построения цифровых приемников рентгеновских изображений // Медицинская техника. 2006. №5. С.7–10.
13. Майоров А.А. Компьютерная радиография с использованием флуоресцентных запоминающих пластин – что это такое? // В мире неразрушающего контроля. 2004. № 3. С.42–43.
14. Литвинов А. Высокое качество изображения. Последнее поколение детекторов рентгеновского излучения "SID-A50" // Технологии в электронной промышленности. 2011. № 6. С.44–47.
15. Блинов Н.Н. (мл.) и др. Исследование параметров сканирующих рентгеновских систем // Медицинская техника. 2004. №5. С.8–11.
16. Алхимов Ю.В., Кулешов В.К. Преобразователи рентгеновского излучения с газовым усилением: учебное пособие // Томск: Изд-во Томского политехнического университета. 2010. 284 с.
17. Багаев К.А., Улудинцева А.И. Системы оцифровки рентгеновских пленок при радиографическом контроле промышленных объектов // Экспозиция. Нефть. Газ. 2013. № 1(26). С.54–56.
18. Григоров М.С., Басов О.О. Метод иерархической сегментации рентгеновских изображений изделий микроэлектроники // Современные инновации в науке и технике: Сборник научных трудов 4-ой Международной научно-практической конференции. В 4-х томах. Том 1. // Курск: Юго-Зап. гос. ун-т. 2014. С.303–305.
2. Бернард Д. Критерии выбора рентгеновской трубки // Технологии в электронной промышленности. 2010. № 4. С.38–43.
3. Шмаков М. Выбор системы рентгеновского контроля. Взгляд технолога // Технологии в электронной промышленности. 2006. № 4. С.60–68.
4. Бернард Д., Брайнт К. Использование последних технологических достижений для рентгеновского контроля электронных изделий // Технологии в электронной промышленности. 2012. № 2. С.16–21.
5. Мазуров А.И. Последние достижения в цифровой рентгенотехнике // Медицинская техника. 2010. № 5(263). С.10–14.
6. Белова И.Б., Китаев В.М. Цифровые технологии получения рентгеновского изображения: принцип формирования и типы (обзор литературы) // Медицинская визуализация. 2000. № 1. С.33–40.
7. Лебедев М.Б., Сидуленко О.А., Удод В.А. Анализ современного состояния и развития систем цифровой рентгенографии // Известия Томского политехнического университета. 2008. Т.312. № 2. С.47–55.
8. Майоров А.А. Цифровые технологии в радиационном контроле // В мире неразрушающего контроля. 2009. № 3(45). С.5–12.
9. Багаев К.А. Цифровая радиография, обзор технологий и зарубежных стандартов // Экспозиция. Нефть. Газ. 2012. № 7. С.11–13.
10. Клюев В.В., Соснин Ф.Р. Современные средства и методы цифровой радиационной дефектоскопии // В мире неразрушающего контроля. 2002. № 4(18). С.52–56.
11. Неразрушающий контроль: Справочник: В 8 т. / Под общ. ред. В.В. Клюева. Т. 1: В 2 кн. Кн. 1. Ф.Р. Соснин. Визуальный и измерительный контроль. Кн. 2. Ф.Р. Соснин. Радиационный контроль. – 2-е изд., испр. // М.: Машиностроение. 2008. 560 с.
12. Борисов А.А. и др. О двух технологиях построения цифровых приемников рентгеновских изображений // Медицинская техника. 2006. №5. С.7–10.
13. Майоров А.А. Компьютерная радиография с использованием флуоресцентных запоминающих пластин – что это такое? // В мире неразрушающего контроля. 2004. № 3. С.42–43.
14. Литвинов А. Высокое качество изображения. Последнее поколение детекторов рентгеновского излучения "SID-A50" // Технологии в электронной промышленности. 2011. № 6. С.44–47.
15. Блинов Н.Н. (мл.) и др. Исследование параметров сканирующих рентгеновских систем // Медицинская техника. 2004. №5. С.8–11.
16. Алхимов Ю.В., Кулешов В.К. Преобразователи рентгеновского излучения с газовым усилением: учебное пособие // Томск: Изд-во Томского политехнического университета. 2010. 284 с.
17. Багаев К.А., Улудинцева А.И. Системы оцифровки рентгеновских пленок при радиографическом контроле промышленных объектов // Экспозиция. Нефть. Газ. 2013. № 1(26). С.54–56.
18. Григоров М.С., Басов О.О. Метод иерархической сегментации рентгеновских изображений изделий микроэлектроники // Современные инновации в науке и технике: Сборник научных трудов 4-ой Международной научно-практической конференции. В 4-х томах. Том 1. // Курск: Юго-Зап. гос. ун-т. 2014. С.303–305.
Опубликован
2014-11-11
Как цитировать
Григоров, М. С. (2014). Классификация цифровых систем неразрушающего рентгеновского контроля изделий микроэлектроники. Труды СПИИРАН, 4(35), 94-107. https://doi.org/10.15622/sp.35.7
Раздел
Статьи
Авторы, которые публикуются в данном журнале, соглашаются со следующими условиями:
Авторы сохраняют за собой авторские права на работу и передают журналу право первой публикации вместе с работой, одновременно лицензируя ее на условиях Creative Commons Attribution License, которая позволяет другим распространять данную работу с обязательным указанием авторства данной работы и ссылкой на оригинальную публикацию в этом журнале.
Авторы сохраняют право заключать отдельные, дополнительные контрактные соглашения на неэксклюзивное распространение версии работы, опубликованной этим журналом (например, разместить ее в университетском хранилище или опубликовать ее в книге), со ссылкой на оригинальную публикацию в этом журнале.
Авторам разрешается размещать их работу в сети Интернет (например, в университетском хранилище или на их персональном веб-сайте) до и во время процесса рассмотрения ее данным журналом, так как это может привести к продуктивному обсуждению, а также к большему количеству ссылок на данную опубликованную работу (Смотри The Effect of Open Access).
